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光伏动力工程

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财团法人国家实验研究院  

2011-07-06 14:05:42|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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微波设备(AXOM-300)及JDK Instruments AG Bio-AFM

气体设施配置工程

                                  招标规范书
目录                                 页次

1. 工作范围                                                                                                                       3

2. 送审文件                                                                                                                       4

3. 设备需求                                                                                                                       4

4. 测试与验收                                                                                                                   6

5. 保固                                                                                                                               7

6. 其他                                                                                                                               7

      
目的

本规范适用实验栋3楼C/R10K微波设备系统(AXOM-300)气体配管二次盘面扩充等配置工程及研究栋2F R230室JDK Instruments AG Bio-AFM设备系统气体配管二次盘面扩充等配置工程。含管路盘面之设计制造、验收、安装等之基本要求。


1.    工作范围

实验栋3楼C/R10K微波设备系统(AXOM-300)气体配管二次盘面扩充等配置工程及研究栋2F R230室JDK Instruments AG Bio-AFM设备系统气体配管二次盘面扩充等配置工程,承包商应完成及提供本工程之设计、安装、施工,其工程范围如下:


1.1.       配管工程:
1.1.1.       实验栋3楼C/R10K微波设备系统(AXOM-300)气体配管设施相关位置 (如图一),二次盘 (如图二),相关需求 (如表一) 。

l   新做二次盘(含3/8〞隔离阀、调压器、过滤器、逆止阀),PN2×1)。

l   新做二次盘(含1/4〞隔离阀、调压器、过滤器、逆止阀),PN2×1)。

l   新做二次盘(含1/4〞隔离阀、调压器、过滤器、逆止阀),GN2×1)。

l   新做二次盘(含1/4〞隔离阀、调压器、过滤器、逆止阀),PO2×1)。

l   新做二次盘(含1/4〞隔离阀、Pressure Gauge),(PV×1)。

l   PN2、PO2、GN2及PV由墙上Sub Main Pipe上之预留阀(PN2、PO2、GN2,PV)接至所有二次盘管路及由所有二次盘接至机台管路。PN2、PO2、GN2及PV预留阀需开一留一。


1.1.2研究栋2F R230室JDK Instruments AG Bio-AFM设备气体设施相关位置 (如图三),二次盘 (如图四),相关需求 (如表二) 。

l   新做二次盘(含1/4〞隔离阀、调压器、过滤器、逆止阀),GN2×2)。

l   新做二次盘(含1/4〞隔离阀、调压器、过滤器、逆止阀),(CDA×3)。

l   GN2及CDA由天花板内Sub Main Pipe上之预留阀(GN2→1/2〞,CDA→25A)接至所有二次盘管路及由所有二次盘接至机台管路。GN2及CDA预留阀需开一留一。


 
2.    送审文件
2.1.       文件送审
2.1.1.       承包商应提送文件至少包括:
2.1.1.1.        管路阀件、二次盘体 (Panel)、相关设备规格明细表及数量。
2.1.1.2.        本工程之管路设计及二次盘体 (Panel)设计详图。
2.1.2.       承包商应提送文件规范说明
2.1.2.1.        所有文件以中文标示(型录依原厂提供)
3.    设备需求
3.1.       PN2、PO2、GN2气体管线衔接应为无缝焊接及VCR gasket compression seals, CDA、PV管线衔接应为无缝焊接及Swagelok gasket compression seals。
3.2.       警示标示:
3.2.1.       管线阀件要标示气体种类、流动方向等。(管线及阀件标示需与NDL新厂PN2、PO2、GN2、PV、CDA等气体标示格式样相同。)
3.2.2.       所有新设二次盘均需标示气体种类、使用之设备机台名称。
3.2.3.       所有由Take off Valve接出之管路,皆应于Take off Valve处标示,接至何处(机台或位置)。
3.3.       二次盘体 (Panel) 设备:
3.3.1.       二次盘面设计相关数据
3.3.1.1.        每个PN2、PO2、GN2、CDA气体二次盘必须包含以下组件:

a)     隔离阀×2

b)     调压器

c)     逆止阀

d)     Filter

e)     自动焊接和VCR 或Swagelok接头


3.3.1.2.        PV二次盘必须包含以下组件:

a)     隔离阀一个

b)     Pressure Gauge

c)     自动焊接和Swagelok接头


 
3.4.       分配管线
3.4.1.       管路材料规格:
3.4.1.1.        管路: PN2、PO2  SUS316LEP级,GN2、CDA为SUS316LBA级;。
3.4.1.2.        阀件: PV隔离阀大于15A管采用PVC Ball valve小于15A管采用SUS316L BA级Ball valve,PN2、PO2采用SUS316L EP级隔膜阀、GN2、CDA采用SUS316L BA级隔膜阀。
3.4.1.3.        PN2、PO2、GN2、CDA气体调压器均为双表式。
3.4.2.       所有SUS316L管路衔接使用Ar焊自动焊接。
3.4.3.       Tee及Elbow采用Long type 。
3.4.4.       气体管线每l.2m设置一气体管架(Support),其材质为SUS304,所有五金配件皆用SUS304材质。
3.4.5.       SUS316管路、阀件、焊接设备、调节阀皆须为美、日、欧进口。
4.    测试与验收
4.1.       测试与验收:所有新设供气管线含盘面应使用纯氮气验收,并根据下列规范完成(保压、Particle)管路测试,并于测试后提出验收报告。
4.1.1.       保压测试:测试之供气管路系统应使用高纯度氮气在7kg/cm2工作压力下测试,测试管路系统之压力至少应保持24小时变化在3%以下。
4.1.2.       Particle测试:测试之供气管路系统应以高纯度氮气purge,并在每一管路之最远之末端测试particle含量。对于SUS316L BA等级之管线系统,任一处之测试结果对于颗粒大于0.1μm之particle 测试之含量每立方英尺应小于10颗。
4.1.3.       PV二次盘管路系统除保压(在3kg/cm2工作压力至少应保持24小时变化在3%以下)测试外,不需实施其他测试。
4.1.4.       管路验收:测试之供气管路系统应以高纯度氮气purge,并在每一管路最远之末端测试下列参数,并应符合以下性能规范之标准:(以下标准未含purge source gas之含量)。

管材

EP管

BA管

 

H2O

1ppb

Purifier机台out 1ppb经由管路以10ppb以下

100ppb

以Gas YARD进气质量的标准+100ppb

 

O2

1ppb

Purifier机台out 1ppb经由管路以10ppb以下

100ppb

以Gas YARD进气质量的标准+100ppb

 


4.1.5.       管路材料报告:得标厂商于竣工时必须依照投标时报价单上之管路材料(数量及长度),绘制工程图及文字报告。

 


5.    保固
5.1.       工程经正式验收合格后,由承包厂商出具工程保固切结书。
5.2.       全部工程,自完工验收合格之次日起算,一年内为保固期。
5.3.       如保固期间临时发生故障,一经业主通知,应于3日内派员免费修护。但消耗性器材不在保固范围内。
5.4.       业主供给之设备,其非导因于承包厂商之施工或管理不善者,亦不在保固范围内。
5.5.       本工程之材料等若有任何损坏、渗漏或瑕疵,系由于施工或材料不良所造成者,承包厂商应负一切整修或重建工料之责。因而导致业主或第三者权利受损时,亦由承包厂商负责赔偿。
5.6.       前述之损坏、渗漏或瑕疵经证明系非承包厂商之责者,业主应支付承包厂商合理之修护工料费用。
6.    其他
6.1.       承包厂商于投标前应至现场勘查并与业主充分沟通,且依照业主意见、需求评估再参与投标,于得标后完全依照业主意见、送审核可文件及需求施作,并不得以任何理由要求追加预算。
6.2.       工程期限:

6.2.1承包厂商应配合制程设备微波设备系统(AXOM-300)机台搬迁至实验栋3楼C/R10K气体配管及研究栋2F R230室JDK Instruments AG Bio-AFM设备定时程(时程由业主提供)。

6.2.2有关本案气体设施配置(含管路盘面之设计制造、验收、安装)工程分别为微波设备系统(AXOM-300)搬迁至实验栋3楼C/R 10K级定位及JDK Instruments AG Bio-AFM设备搬迁至研究栋2F R230室定位次日起10天(依工作天计算)内完工。


6.3.       本工程所需材料,如有未列项目以文字规范之规格、明细、数量为主,请自行评估。


 

附表一

3楼C/R10K微波设备系统(AXOM-300)气体配管气体设施需求统计表

设备名称

种类

压力

流量

管径

二次盘数量

新做(ˇ)/

负责人/TEL

微波设备系统(AXOM-300)

PN2

60-100psi

N/A

3/8〞

1

 

李博士/7793

PN2

60-80psi

10slopm

1/4〞

1

 

 

PO2

60-80psi

 

1/4〞

1

 

 

GN2

60-80psi

10slpm

1/4〞

1

 

 

PV

 

 

1/4〞

1

 

 

  附表二

2F R230室JDK Instruments AG Bio-AFM设备气体设施需求统计表

设备名称

种类

压力

流量

管径

二次盘数量

新做(ˇ)/

负责人/TEL

JDK Instruments AG Bio-AFM

GN2

60-100psi

 

1/4〞(外径6mm)

2

 

杨哲瑜/7509

CDA

60-100psi

 

1/4〞(外径6mm)

3

 

 

 


附图一  实验栋 C/R 10K


10K 放置MW 新機台位置


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 



附图二  AXOM-300


PN2 



1/4〞



PO2



1/4〞



PN2、PO2(EP管)、GN2、 PV(BA管)



約10m



GN2



1/4〞



3/8〞



1/4〞


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 



EP1/2 〞* 3/8 〞


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


EP 3/8 〞* 1/4〞


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


1/2〞* 1/4〞


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


EP 1/4 〞* 1/4〞


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


1/4 〞


 

 

 

 

 

 


PV BA〞


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

附图三      研究栋 2F   R230

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


附图四   JDK

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 



供應端



CDA 25A



二次盤配置圖



2- 3 M



距離約



距離約



約15M



1/4〞



BA 1/2 〞* 1/4 〞



1/4〞



1/4〞



1/4〞



1/4〞



GN2  1/2 〞



約15M



1/4〞



BA 3/8 〞* 1/4 〞



1/4〞



1/4〞


 

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