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洁净室特种气体系统  

2011-05-19 09:54:20|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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一、特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应,在电子工厂内应设置储存、分配系统
二、洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔墙与洁净室分隔,隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。
三、洁净室内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置,应符合下列规定:
1、特种气体钢瓶(含硅烷或硅烷混合物)应设置在具有连接机械排风的特气柜中;
2、排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源;
3、一个特气分配系统供多台生产设备使用时,应设置多路阀门箱;
4、可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合有关规定。
四、特种气体分配系统应设置吹扫盘,并应符合下列规定:
1、应设置应急切断装置;
2、应设置过流量控制装置;
3、应设置手动隔离阀;
4、吹扫气源不宜采用常用气体系统;
5、不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。
五、硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定:
1、储存区应至少三面敞开,气瓶应固定在钢制框架上;
2、气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m;
3、储存区顶棚的高度应大于3.5m。
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