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电子工业用气体氩技术指标  

2011-05-19 10:07:40|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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项目 指标
氩纯度,10-2,≥ 99.9992
氢含量,10-6,≤ 1
氮含量,10-6,≤ 5
氧含量,10-6,≤ 0.5
一氧化碳和二氧化碳含量,10-6,≤ 0.5
总烃(以甲烷计)含量,10-6,≤ 0.5
水分含量,10-6,≤ 0.5
颗粒 供需双方商定


试验方法:

1 氢和氮含量的测定:
1.1 方法:采用配备氦离子化检测器的气相色谱仪测定氩中的氢和氮。
1.2 检测限:氢0.1×10-6(V/V);氮0.5×10-6(V/V)
1.3 仪器参数
1.3.1 色谱柱:将色谱分析用粒度为0.25~0.40mm的5A分子筛装入内径4mm,长约3m的不锈钢管内,于300℃通氩气活化3h。或采用等效色谱柱。
1.3.2 载气:约30mL/min氦气,氦气中杂质含量比待测组分含量低一个数量级。
1.3.3 样品体积:1.0~3.0mL。
1.3.4 温度:检测器及柱加热箱均为室温。
1.3.5 标样:含1~5×10-6(V/V)氢的氩,含5~25×10-6(V/V)氮的氩。
1.4 操作步骤
1.4.1 用气体进样阀进标样。
1.4.2 用同样方法进待测样品。
1.4.3 重复上述两条,取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果,单个值与平均值的相对偏差不得大于10%。
1.4.4 比较标样峰和试样峰的平均面积,用下式分别计算氢和氮的含量,其结果不得超过本标准的上表规定值。
    φi=(φs-Ai)/As
    式中:φi--样品气中的待测组分i的含量,10-6(V/V);
       φs--标准气中的组分i的含量,10-6(V/V);
       Ai--样品气组分i的峰面积,mm2(V/V);
       As--标样气组分i的峰面积,mm2(V/V);
       当半峰宽不变时可用峰高定量。

2 氧含量的测定
  按GB/T6285执行。
  仪器检测限:0.1×10-6(V/V)。
  标样:氩中含氧1×10-6~5×10-6(V/V)。

3 一氧化碳和二氧化碳含量的测定
  按GB/T8984.1执行。
  仪器检测限:0.1×10-6(V/V)。
  标样:氩中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6~2×10-6(V/V)。  

4 总烃(以甲烷计)含量的测定
  按GB/T8984.3执行。
  仪器检测限:0.1×10-6(V/V)。
  标样:氩中含甲烷1×10-6~2×10-6(V/V)。

5 水分含量的测定
  按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行,两种方法具有同等效力。
  仪器检测限:0.2×10-6(V/V),经相应检定规程检定合格。

 

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