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配管标准程序  

2011-05-17 13:14:14|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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目   录

材料接收之程序                    -2

材料检验之程序                    -3

焊工验证之程序                    -4

焊接的检验标准                    -5

焊道的检验标准                    -6

管线测试的程序                    -8

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

材料接收之程序

 

目的:主要确定管子在运送过程中包装的完整以及订购量和材质的符合。

 

步骤:

材料订购后在接收前最好能先到原厂抽检。

阀件:取10%做氮气测漏测试,及Particles的测试。

管件:依炉号Heat No.和管子的Size各取一支作熔接测试。

管接头:依不同Size各取一件出来做粗糙度、真圆度、Dimesion测试。

 

材料到厂处理

通知品保人员检查包装状况,在品保人员(QA/QC)准许后才可拆箱,拆箱需非常小  心以免伤到管材。

将所有送货单发票及出厂测试报告交给QA/QC人员。

Piping和Tube的上架,同尺寸的管子会有不同的炉号,需依炉号区分开来。

316LEP及316LBA的管件和阀件到厂拆箱后需移到无尘室Class 10000区存放,移入前需再擦拭干净。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

材料检验之程序

 

目的:主要是为了再次确定所购买的材料质量符合标准规范,以确保UHP配管。

 

步骤:

材料在移入无尘室后准备取出10%做检验。

 

检验项目:

外观检验:目测表面有无凹痕、刮伤,内面有无缺陷、凹洞、刮伤、污点残余物。

粗糙度的检验:利用粗糙度仪做内部表面粗糙度的检验。

管壁厚度及外径的检验:利用光标卡尺做管外径及壁厚的检验。

 

检验的标准规格:如附录。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

焊工验证之程序

 

目的:此焊工验证的目的是要确保每位在现场或无尘室焊接的人员,其焊接质量的认证并且可做日后焊道追踪的管理。

 

步骤:

将管子分成四Group:

Group-1:1/2"~15A

Group-2:20A-80A

Group-3:1OOA~150A

Group-4:200A以上

 

从每个Group中选一种尺寸的管子做焊接认证,通过后在其Group范围内的尺寸皆可施工,不可跨Group施工,除非通过各个Group的认证。

 

决定认证的尺寸后,焊接者需再限定的时间内完成焊接测试。

 

认证者先将机台焊接数据归零,焊接者需自行重新调整数据和管内气体流量并且要会更换钨棒和调整钨棒的间距。

 

焊接者最后需完成三块试片,一块t/b(tube on beat)即管子直接焊接,两块t/t(tube to tube)即管对管,对接的试焊。

 

完成的试片在试片上必须填写上炉号、日期、管子的尺寸、等级和焊接者的ID No.并且填一份认证表格。

 

认证者检视完成的试片并填写认表格的合格与否,合格者才可施工,末合格者需经10天才可再作认证。

 

整理出一份合格者名单,传到现场工地给QA/QC人员,以掌控现场施工人员的施工质量。

 

 

 

 

焊道的检验标准

 

目的:此检验标准主要是确保焊道的质量良好以避免日后系统的泄漏或腐蚀的危险。

 

步骤:

焊道是否有氧化的现象?

 

焊道是否渗透完全?

 

焊道是否弯曲偏移严重?(l/4"~2"管→10%,3"管以上→15%)

 

焊道是否穿孔?

 

焊道是否过度凹陷?(l/4"~2"管→10%,3"管以上→15%)

 

焊道是否过度凸起?(l/4"~2"管→10%,3"管以上→15%)

 

焊道覆盖是否适当?(60%~80%)

 

焊道宽度是否适当?(管厚x 1~2倍)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

焊接的检验标准

 

目的:控制焊接的过程中不受外界的污染并保持管内的洁净以达到UHP配管的质量规格。

 

步骤:

切管和洗管

l/4"~3/4"的管于在Class1000区切管。

3/4"以上的管于在Class10000区切管。

切下来的管子需注明管子的炉号,使用系统、等级和套上塑料片、塑料盖。

切下来的管子需用DI Water清洗干净,再用热氮气吹干或烤箱烘干。

不管是现场的施工或无尘室的预制,大管径的切管必须在无尘室或Clean Booth

下执行前完成洗净的工作。

现场量好尺寸要的切管,从无尘室送出前必须盖上塑料片和塑料盖并封上两层塑

胶袋方可运到现场,运送车需有管架,管子不可随意置放。

切管时若刀片不利应立即更换以免损坏管子。

现场切小管时需经过纯化过的气体作冲吹。

 

焊接的程序

焊接者必须是有被认证过者,末被认证过者或被取消资格者不得做焊接的工作。

试片(COUPON)的制作:

再开始焊接系统时须先做试片,早上开始的第一块试片称CI(Coupon In),中午休息后继续焊接时需再做一块试片称CM(Coupon Middle),最后,结束时在交一块试片称CO(Coupon Out)然而再下列情况之一时需再做试片:

改变管材的炉号。

改变管材的尺寸。

焊接机台断电的时候。

焊把更换或焊接途中焊接机数据的更改。

钨棒的更换。

 

试片需写上日期、系统、焊接者ID No.、.CI、CM或CO、管材等级。

 

试片完成后,将焊接数据填写在焊接纪录表上,开始焊接系统前可先由另一组人员做点焊固定的工作,点焊时也需接Argon气体冲吹以防止氧化的发生。

 

系统管件的焊接:

点焊好的管件,要焊接时需用Argon的气体充分的冲吹内管。

焊接前先调好管内与焊把的气体流量。

连接冲吹管内的气体管线不能使用Teflon的软管来连接,需用EP级的铁管来作冲吹。

焊接完成后,在每一口焊道上必须注明时间、日期、焊接者的ID No.及焊道的编号。

焊接者在焊完后,须填写每日焊接纪录表。

在无尘室预制好的管件,送到现场时须做双层的包装始可运出。

在现场连接好的管路系统须保持不断地冲吹状态。

在现场若遇中间段焊接失败,要做切管的动作时,必须两端都接有气体冲吹才可施行切管的动作。

切下来的管子,须做端面的处理时必须用气体冲吹,要小心避免铁屑掉进管内或阀件,以免刮伤管内光亮的表面和阀件密合的损坏。

不管是在现场施工人员或无尘室的预制人员皆必须戴上PVC手套施工,若有破损也须立即更换。

焊接所使用的冲吹管线接头须使用VCR的接头,调压阀则使用针阀。

自动焊接机主要的两种机型,ARC-MACHINE及CAJON若遇到200A的大管无法使用自动焊时,可用手焊最后再用X光照射来检验焊接的质量良否。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

管线测试的程序

 

目的:确保整个管路系统的安全以及纯净无污染,以达制程的需求。

 

步骤:

系统保压的测试:

仪器:

Gauge刻度精密到0.5psig无纪录但方便安装。

Recorder纪录器有纪录纸纪录但安装不便。

测试方法:

在系统内灌入被纯化过的氮气,灌入压力=设计压路X1.1倍,接测试仪器持续时间24小时。

   大于或等于15A之管路 暂压10 Kg/cm2    试验时间: 60分钟

   大于或等于15A之管路 保压 8 Kg/cm2以上 试验时间: 24小时

   小于15A之管路      保压8 Kg/cm2以上 试验时间: 24小时

若在任何温度变化修正之后,没有压力衰减的现象、则注明该管路气体名称管线压力值、时间、日期和空气温度等数据请业主代表,见证测试的开始与结束。

完成测试后再将测试数据送请业主代表签名。

 

系统氦气测漏测试:

测试仪器:Leybold(UL200dry)

测试方法:

lnboard模式:

将被测系统管路连接测漏仪器,将系统抽真空,抽至漏率1x10-9atm.cc/sec后,在系统的每一口焊道、接头等喷氦气来测试,若维持漏率≤1x10-9atm.cc/sec则表示合格,此漏率测试值是针对P级气体与特殊气体,至于GN2、UN2则是1x10-6atm.cc/sec,CDA不做氦测漏。

0utboard模式:

将被测系统灌入氦气,再将氦测仪切换成Sniffer模式,调整仪器灵敏度至1x10-9atm.cc/sec再用连接氨测漏移的软管吸每一口焊道、接头等,若系统有漏,氦气被仪器吸入时,仪器会发出警示声响。

 

系统Particle的测试:

测试的仪器:

CNC(condensation Nucleus counter)

PMS

测试方法:

使用超纯度氮气(PN2)作为吹冲(Purge)气体

除H2、Ar、He Piping外, 皆使用PN2 Purge

H2、Ar、He Piping, 使用PAr Gas Purge

F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping, 使用PHe Gas Purge

将系统连接测试仪器,仪器连接系统的管路必须用EP级的不锈钢管,测试前须先经过加减压的冲吹。

P级气体与特殊气体测试规范如下:

Particles≤1 pcs/sft3 ≥0.1 um连续30分钟

CNC可测到0.01 um的等级,流量为0.1 sft3/Min

G级气体测试规范如下:

Particles≤10 pcs/sft3 ≥0.1um连续测30分钟,可用PMS来测。

 

系统水分的分析:

测试仪器:

Ametek

Meeco

测试方法:

使用超纯度氮气(PN2)作为吹冲(Purge)气体

除H2、Ar、He Piping外, 皆使用PN2 Purge

H2、Ar、He Piping, 使用PAr Gas Purge

F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping, 使用PHe Gas Purge

系统必须先加减压和连续式的冲吹。

系统管路连接分析仪器,连接管线须用EP级的管线和VCR的接头。

依照不同等级气体测试到合格规范。

冲吹次数计算法:

C:初始浓度

P1:升至最大压

P2:降至最小压

n:Purge次数

 

系统氧气的分析:

测试仪器:

Delta-F

测试方法:

使用超纯度氮气(PN2)作为吹冲(Purge)气体

除H2、Ar、He Piping外, 皆使用PN2 Purge

H2、Ar、He Piping, 使用PAr Gas Purge

F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping, 使用PHe Gas Purge

将经冲吹完全的系统,连接到分析仪器上,连接的测试管线须EP级和VCR的接头。

依照不同等级气体测试到合格规范。

 

系统真实气体的分析:

测试仪器:

RGA5

Apims

测试内容:02,CO,C02,H2,CH4,THC,NMHC

测试方法:

RGA5:因目前Apimas无法分析02的不纯物,故用取样瓶取样后,再用RGA5来分析。

Apimas:假设系统一次配,配到VMP/VMB时,则在每个VMP末端的Stick出口接一放有Restrictorifice垫片的冲吹管连续冲吹,而PH2的冲吹排气要先准备好,将真实气体PH2、PN2、PHe、PAr接入Apimas开始作连续的分析,一直到分析合格为止。

 

 

 

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