注册 登录  
 加关注
   显示下一条  |  关闭
温馨提示!由于新浪微博认证机制调整,您的新浪微博帐号绑定已过期,请重新绑定!立即重新绑定新浪微博》  |  关闭

光伏动力工程

有实力才有尊严!有质量才有形象!

 
 
 

日志

 
 

centrotherm 管式PECVD镀膜机的维修保养工作  

2011-05-17 13:13:11|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

  下载LOFTER 我的照片书  |
 

文 件 修 订 记 录


文件版本

日 期

修订
页次

描 述

1.0

2009-12-14

全部

新制定

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


 

 

目       录

1.     目的:... 3

2.     范围:... 3

3.     职责:... 3

4.     设备概况:... 3

5.     部分故障参考:... 4

6.     相关操作... 8

7.     维修保养... 12

8.     设备完好标准... 14

9.     安全注意:... 15




1.        目的:

指导centrotherm 管式PECVD镀膜机的维修保养工作,使设备长期处于良好状态,保障设备正常运行


2.        范围:

适用于二部centrotherm 管式PECVD镀膜机


3.        职责:

1)负责管式PECVD所有生产性设备资产的完好性,负责制定日常运行维护、维修及检修计划,并按计划落实,确保生产的安全、正常运行;

2)负责检查设备运行状态,并记录异常,积极跟踪异常情况,处理设备故障;

3)负责应对管式PECVD常见、突出、重大的设备异常、故障;制定落实整改措施、预防措施、应急方案。


4.        设备概况:

本设备主要功能是对硅片进行表面镀膜处理。主要由上料部分(LOADING)、炉管(furnace)部分、气源(gas cabinet)部分、CMS部分、高频电源、真空部分、人机交换与控制界面组成。设备为全自动处理。

 

上料部分: 由小车(trolly),机械手(lift axle,grip),进给桨(SLS,EFM),小车有新旧两种,依靠液压缓冲器和调节螺杆调整小车的平稳、水平、平行。推进时气缸锁死。

机械手分为LIFT axle提升机械手(AC380V伺服电机+欧姆龙驱动器+制动+编码器构成提升组成)和水平进给的两套机械手(DC24V伺服电机+增量式编码器+RDC2控制器+制动器)。进给桨分为SLS软着陆垂直动作部分(RDC2控制器+DC24V马达+限位开关))和EFM水平进给部分(RDC2控制器+DC24V马达+编码器+电位计)。

 

炉管部分由炉门、炉身、炉尾构成。

炉门由通过Bakeoff PLC控制气动组成单元执行,炉门也为特气的进口,此处的三通很重要,起到气流导向作用,也防止气路堵塞。气动单元要时常检查有无行程和限位开关移动位。炉门口要时常清洁,保障真空顺利抽下。前端的冷却水压力开关要保障正常。

炉身内部有T-PADDLE热电偶,测温点分为5个区。热电偶带有石英保护套管,此套管为易损件。此套管作用为保证真空,也是保护五个点的温度稳定必要的。炉管外围也配有5个T-SPIKE测温点,加热器也在炉管周身。管与管之间有水冷却板保证设备的整体外围温度安全。此处的加热测温区控制由PWM模块(A/D模块)、TMM5、CMS和REG97控制器构成闭环控制。

炉尾安装有电极、热电偶的进口、尾气排放口、观察窗。电极是高频电源输出放电终端。尾气排放口联接蝶阀至真空泵。观察窗可以观察电极和桨的配合情况以及内部工艺情况。

气源(gas cabinet)部分:气源NH3、SIH4、N2、CDA.构成。设备的尾部顶端配有主气源气体调节压力的面板单元,通过截止阀、调节阀、旁通阀、指针压力计可以调节工作压力。每种气体每个炉管均有单独的控制单元。

CMS部分:提供集中报警管理及监控,设备安全监测系统。以下为监测部分

— 水

— 冷却泄露

—加热系统保险丝

—加热区温度

—加热体温度

— 电源温度

— 加热变压器的温度

高频电源:为国产电源提供。其进电源经变压器供给。

真空部分:为阿尔卡特ADS602H真空泵、蝶阀单元、尾气排放检测单元。每个炉管均有压力和真空检测单元,包括自动切断阀、相对压力传感器、绝对压力传感器。通过两种传感器的信号提供来控制MFC和蝶阀的开度来控制达到生产要求。

人机交换与控制界面组成。由CCC服务器和CMI、 CESAR、REG97、PLC等工作站构成通讯网络。每个部分可单独工作。


5.        部分故障参考:

序号

故障现象

原因分析

解决方法

情况说明

1

真空抽不下来

①T-paddle热电偶

保护套管损坏。

②电极保护套管损坏。

③炉管后面的观察窗破裂。

④前炉门口端盖处不洁净。

⑤蝶阀后到泵体的软连接处松动。

⑥真空泵问题

更换保护套管

 

更换保护套管

 

更换观察窗

 

开门进行清洁

 

检漏查找,紧固

 

检查泵体,维修

 

2

SLS没有反应,

行程开关未动作或者损坏,需要调整。

②炉管状态错误导致

检修

需要程序初始化。重新启动程序

 

3

炉门未打开或者没有到位

    

①行程开关未到位or限位开关松动

②继电器 or 相对压力传感器问题

进行调整。

 

继电器需要进行更换和压力传感器进行校正零点。

 

4

蝶阀故障

VAT显示为C***此现象为通讯问题

 

VAT显示为E***此现象为硬件问题,除E40为电机驱动和线路问题外,其余均与机械有关

如果初始化不行可以冷启动即可。

遇到E40可以重新接插控制单元。其余对蝶阀进行拆开清理查找原因。

 

5

 

电位计故障:。

 

 

①反馈的boat poti 的数值超出或者没有,不变化。

②TGA free信号经常报警且反馈的数值(经校正过后的反馈)差异较大(>6MM),也与电位计相关,要重新校正

使用万用表确认电位计的好坏,如坏进行更换校正

没坏,进行调整矫正。过程程序操作

 

6

GRIP部分出现的传动轴异位现象。

①手动TEACH误操作导致

②舟装载时传感器信号错误导致碰撞

 

消除报警,然后进行机械调整。

调整传感器的感应距离

7

Process recipe has terminated with error state----Alarm
ACK----(1)to store(2)to store enable unload(3)Restart recipe .

进行中的工艺以错误的状态结束----警报确认----(1)储存

(2)储存并卸下(3)重新开始工艺。

消除报警

(1)用错工艺号,手动结束工艺,重新开始新的其它工艺时进行选择。
(2)多数情况下选择此项。;
(3)工艺中断需要重新进行时选择,选择前应查看镀膜情况

 

8

Lost homing, check position.

失去引导,检查位置。

此报警会自动解除,只需要检查一下桨是否在原点位置即可。

 

9

HF Gen out of 1st(2nd) tolerance.

高频发生器超过第一(二)个容差,

通常出现这样的报警有六种情况:
①石墨舟的电极孔放反。
②石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。
③炉内的碎片太多,石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。

④特气或者水压力过低导致。

⑤石墨舟舟片之间绝缘不好

⑥螺母松动

如果在镀膜中退出,如已经沉积到氮化硅,检查镀膜时间后,选择手动工艺输入剩余时间。
①卸载,重新摆放舟

卸载,取走碎片

降温,清理碎片

联系外围,调整压力开关

洗舟

⑥紧固螺母

 

10

?Collective alert pump st.1

真空泵报警。


一般情况下是由于真空泵的负压太大,导致报警

查看泵体,压力,功率和温度状况进行针对排查

 

11

Gas N2(SiH4、NH3)out of 1st(2nd) tolerance.

特气氮气(硅烷、氨气)超过第一(二)个限值。

出现这种报警的原因是多面的:高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定(冷却水报警),都会出现这样的报警,出现超过第一个限值报警,只是警告;超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止。

①确认压力表指数正常。

②确认阀门有无故障。若阀门没有问题联系外围

③确认流量计有无故障,若有进行更换。

④确认工艺过程中有无HF和冷却水等故障

 

12

Recipe couldn’t de started. please check protocol for reason.。
工艺不能被运行,请检查原因。

此管已有一个工艺在运行;此管没有你要选的工艺文件;状态不正确

如果有工艺在运行,取消此次工艺等待下次加载

如果没有此工艺要从CCC主机内加载程序

炉管内状态不对,进行Tube ready 工艺,调整状态

 

13

Tube ready in undefined please ensure that the CESAR loading machine is at“0” position and softlander is “UP”.
说明:管子的状态无法被确认,请确保CESAR接收到桨在“0”和“UP”的位置。

炉管状态不对

检查桨是否在上位和原点的位置,如果是的,在空桨的情况下运行homing工艺;如果不是,手动移动桨到上位和原点。

 

14

Boat collision.

舟被撞击

Handling对话框中将舟移动到安全的位置;若是在上下舟,检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置匹配

 

15

The boat sensor has detected no boat in the grab although a boat should be in the grab. please check boat in grab sensor and try again.

虽然有一个舟在机械臂上,但传感器测不到。

 

机械臂上的传感器没有感应到舟。

检查一下舟是否接触到传感器后再试一次。如果不行,调整传感器。

将舟放到正确的位置即可。

 

16

No process boat in source position.
说明:在设定的位置没有舟的存在。

通常是因为机械臂将石墨舟放到储存架上,储存架上的传感器没有感应到。

调节传感器或者调节舟的位置即可。

 

17

Boat failure .
说明:退舟失败。

信号错误

或者舟在桨上的位置不对

检查舟在桨上的位置,如果正确手动将桨复位;

如果不正确,戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位。

 

18

Boat position (speed) out of
1st(2nd) tolerance.舟的位置(速度)超过第一(二)限值。

通常会发生在退舟失败后,PADDLE FREE或TGAfree信号故障

手动使桨复位。

经常发生要重新校准信号

 

19

Water flow gas side st.1.
说明:TGA(gas side )冷却水报警。

水流不稳定造成压力开关报警

将石英管后的冷却水流量调整一下即可,可调整大一点。

 

20

Grab sensor undefined. No movement possible! Check boat position.
说明:传感器不明确,无法移动。

机械臂不在正确的位置,无法移动。

检查舟的位置。若机械臂没有被锁定,在Handling的界面中将机械臂移至正确的位置。经常发生要调整抓手机构。

 


 
6.        相关操作
6.1          浆的调节                                          频率:1月/次

调节浆的时候最好放一个舟上去,以便更好的观察浆的情况。要想观察浆是否处于水平状态,最好打开炉门进行调节。

1手动打开炉门操作:

1)Manual---Vacuum---Tube---Pressure---10000mtorr

      (首先把炉管里的压强设置为10000mtorr,)

2)Manual---Gas---N2NO---Volve---Open

(对炉管充气使其达到大气压强)

3)Manual---Boat---Position---Setpoint---10mm

    (浆位于)=10mm是触发打开炉门条件之一)

2 浆的整体上下是由尾部的两个螺栓固定的。当浆有下沉的现象发生时。用活动扳手送开2个螺母,只后在调节2个螺栓。观察浆的上下位置在炉门口的距离。

3 浆的水平位置是由前面的2个螺栓固定的。用水平尺测量浆的水平状态,用上面同样的方     法调节。

4 用手动的方法在有舟的情况下来回试几次,没有卡浆现象的话 即可。

6.2 碟阀的更换

1)更换碟阀时需使炉管里为大气压强,并关闭真空泵。

Manual---Vacuum---Tube---Pressure---10000mtorr

Manual---Gas---N2NO---Volve---Open

Manual---Vacuum---Pump---Switch---OFF(关闭真空泵)

2 )将连接到碟阀上的CAN总线等全部取下。

 

3)用活动扳手将固定碟阀的六的螺栓取下,接着就可以取下碟阀对被氧化的部分用砂纸打磨。密封圈处用酒精擦拭干净后。逆向安装上即可。        

6.3更换新的SIH4 MFC流程

由于SIH4是易燃易爆气体,所以必须强调更换新的MFC必须严格遵守操作规程,避免发生不可预测的事故。

6.3.1 置换前:手动清洁工艺气体管路

1) 管路抽至真空

2)关闭SIH4进气端手动阀门。

3)在菜单栏,点击manual—scrubber­—ON

4)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—to tube/to pump—to pump

5)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—volume—max

至SIH4 MFC实际流量为0

6.3.2 N2充填,N2吹扫

1)在菜单栏,点击manual—scrubber­—ON

2)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—to tube/to pump—to pump

3)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—volume—max

4) 在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—toxgas/N2—N2

5)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—enable

注:此时状态保持十分钟

6)将N2进气阀(手动切断阀)门关掉

7)待真空泵抽至SIH4 MFC实际流量为0,

注:6)—7)保证五分钟

8)重复上述步骤九次

9)按1)—5)的设定后状态,吹扫两小时。

待真空泵抽至SIH4 MFC实际流量为0,保持二十分钟。

6.3.3 SIH4 MFC更换

6.3.3.1 按下STANDBY

6.3.3.2 打开N2进气阀(手动切断阀)门,保持N2的气动阀门打开

6.3.3.3 更换MFC

注:置换SIH4 MFC必须使用新的VCR1/4′垫片。清洁MFC进气和出气口。

6.3.4 检漏

6.3.4.1 外部检漏

1)以200至500mtoor彻底清洁气体系统两小时。

2)拆开炉管尾部的N2吹扫联结,将检漏仪联结到TO PUMP 的N2吹扫管路

3)用盲塞关闭此处,连接严密.

4)开启检漏仪.

5)打开菜单栏,点击manual——GAS——SIH4——to tube/to pump——to pump

在菜单栏,点击manual——GAS——SIH4——volume——max

6)此时其他阀门不要打开,进行检漏。

7)向SIH4 MFC处喷He气,等待十分钟,检查漏率。漏率必须低于3*10-8mbar/s.记录漏率。

6.3.4.2 内部检漏:通过检漏仪进行层层检漏。

1)以200至500MTOOR彻底清洁气体系统两小时。

2)关闭SIH4 MFC进出口所有手动气动阀门。

3)拆开炉管尾部的N2吹扫联结,将检漏仪联结到TO PUMP 的N2吹扫管路

6)打开to pump的气动阀门,观察并记录检漏仪的真空数值。

7)等待十分钟。

8)打开to pump, SIH4 MFC流量计,其它阀门保持,观察并记录检漏仪的数值,等待十分钟。

9)打开to pump, SIH4 MFC流量计,气动阀。其他阀门保持,观察并记录检漏仪的数值, 等待十分钟。

6.3.5 内部与外部检漏作好后,进行吹扫

将以上操作的管路进行恢复后

1)在菜单栏,点击manual—scrubber­—ON

2)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—to tube/to pump—to pump

3)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—volume—max

4)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—toxgas/N2—N2

5)在菜单栏,点击manual—GAS—SIH4—enable

注:此处时间保持一小时一次。

6)将N2进气阀(手动切断阀)关掉

7)待真空泵抽至SIH4 MFC实际流量为0,数值要保持十分钟

8)重复九次,以便将活性气体从工艺管路的死区清除去

注:整体时间要保证八小时,大约每次一小时

9)吹扫完毕后:将N2进气阀(手动切断阀)关掉,待真空泵抽至SIH4 MFC实际流量为0,保持十分钟后,按下STANDBY, 打开N2进气阀(手动切断阀),通SIH4,通知生产人员和工艺人员进行调试

 


7.        维修保养

7.1清洁炉管                                                                                  频率:1月/次                        

由于石墨舟在炉管里面进行镀膜反应,镀膜后在石英管里面会有一些碎片掉落在炉管里面,为了不影响设备的加热效率,所以要经常清洁设备石英管里面的碎片。

更换步骤如下:

1)将设备关机降温、破真空;

2)打开真空炉门;

3)使用清洁过的石英钩将石英管里面的碎片钩出来;

4)使用酒精无尘布清洁炉门密封圈和密封端面;

5)关闭炉门。

7.2冷却风扇过滤器清洁                                                             频率:1季度/次                

由于冷却风扇一直在运行,会有大量的空气经过过滤器过滤后送进设备内部,所以长时间运行后会有大量灰尘吸附在过滤器上面,影响过滤效果,具体操作如下:

1)打开设备背面盖板;

2)将过滤器取出来使用吸尘器清洁过滤器;

3)将清洁完的过滤器安装到设备上面;

4)盖上背面盖板;

7.3冷却水过滤器的清洁                                                             频率:1季度/次                    

由于冷却水在设备里一直在流动,所以冷却水里面回存在一些杂质,这样就会把过滤器堵死,从而造成设备故障,所以我们需要定期进行清洁。具体操作如下:

1)将设备关机、降温;

2)将冷却系统的泵停掉;

3)将过滤器的进水和出水阀关掉;

4)使用扳手将过滤器拆卸下来,过滤器件是不锈钢做的,可以把它放入水中用刷子洗刷或者更换个新的;

5)将清洗过的过滤器从新安装上去;

6)打开进水和出水阀,检查有没有漏水

7.4检查VAT碟阀状态,有无信号状态错误,拆开进行阀体清洁

                                                                                                                频率:1月/次

7.5电气控制柜及电气元件的检查与清洁                                          频率:1季度/次

7.6各炉体的检查与清洁                                                                      频率:1季度/次

7.7压力测试仪器矫正                                                                          频率:1季度/次

7.8校正小推车,调整后进行紧固                                                      频率:1月/次

7.9 SLS系统的检查与润滑                                                                  频率:1月/次

7.10 LIFT机构的检查与润滑                                                               频率:1月/次

7.11真空压力测试                                                                                频率:1季度/次

7.12各气体管道连接处的检查,确认无白色晶体物出现(尤其是特气的管道连接处)     

频率:维护时

7.13检查各水路通道确认无漏处                                                   频率:维护时

7.14石墨舟的清洗

7.14.1清洗机换酸程序

1)打开酸储备槽排水阀及酸槽排水阀,待废酸排尽,用水枪对酸槽进行冲洗。

2)关上阀门,在储备槽加入HF酸(量由工艺人员确定),往酸槽放水,待水从酸槽的溢流口流入储备槽,以储备槽的浮标显示水入1/3,关闭水阀。

7.14.3清洗流程

1)石墨舟放入酸槽后,关上盖板打开喷淋开关。(酸洗在10-12小时,石墨舟清洗机开关操作面上喷淋阀按压下去,机器自动清洗)。


注:喷淋开关按压下去后不可直接打开酸槽盖板,否则会出现安全事故。

 

2)清洗后,把舟抬入水槽,检查是否清洗干净(目视石墨舟片上部是否有氮化硅残留,上部无残留氮化硅表示清洗干净),如未清洗干净则继续酸洗,石墨舟抬入酸槽与酸槽里四面距离一定要对等。

3)放入水槽,用水枪冲洗后关上排水阀,放水,以水没过舟为准,清洗一般需8小时。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4)清洗完毕后,将石墨舟从水槽中取出,用气枪吹掉表面明显的水珠

5) 将石墨舟抬入专用烘箱,关上烘箱门锁紧;打开电源开关—风机开关—升温开关—报警开关;温控表设定温度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小时(经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出)。

 

 

 

 

6)取舟,一般降温半个小时烘箱里的石墨舟达到常温,可以取出交给生产进行预处理。

7.15 石墨舟工艺卡点更换

石墨舟卡点经过反复清洗、沉积及卡片操作后,与石墨舟贴合的紧密程度会逐渐降低,影响工艺质量。生产需要将此类舟安排清洗前,需抬入设备维修间进行工艺点的更换,并及时填写《石墨舟工艺点更换维修记录表》,更换后按清洗流程进行。

 

8. 设备完好标准

1)电压:3/n---380v/220v,功率:130kw,频率:50HZ;

2)SIH4,NH3,N2进气压力必须大于等于3bar;

3)Pump系统无冷却水,真空油泄漏;

4)SIH4燃烧塔正常,无泄露,无负压状况;

5)软着陆系统(sls)正常工作,位置传感器正常,无偏差。

6)主阀,管道系统无泄漏。

7)真空在待机状态保持在300mtor。

9. 安全注意

   1) 避免被高温的物体,如从炉管出来的带有余温舟和浆等烫伤

   2) 避免被运动机构碰伤,设备处于手动状态时进行相关操作

   3) 在洗舟过程中,避免被HF溅到,要严格按相关要求操作

 4)遇到NH3,SIH4泄露时,需及时撤离至安全区域

5)在发生特气泄漏时或维修特气阀门时,如发生意外应执行紧急应对措施!

附件一、计量仪器

名称

SAP号

厂家

型号

出厂编号

数量

测量周期

备注

MFC

50002204

MYKROLIS

N2 15SLM

205440

32

实时测量

 

MFC

50002998

MYKROLIS

N2 3SLM

213278

16

实时测量

 

压力传感器

 

CT

baratorn 10 torr +-0.5%  +-15vDC  35mA 0….10v

060654

 

实时测量                   

 

测量头

 

CT

DI 2000  0…2000mbar-4…20mA

060704

16

实时测量

 

压力传感器

50000424

CT

baratorn 1000 torr /+300mbar KF16 4…20mA

167587

16

实时测量

 

热电偶

 

CT

 

170717

16

实时测量

 

热电偶

 

CT

 

172761

16

实时测量

 

热电偶

 

CT

 

192211

16

实时测量

 

压力计

 

TESCOM

manometer RSCH-63-3

045361

8

实时测量

 

压力计

 

TESCOM

 

157152

4

实时测量

 

固体侦测仪

 

霍利威尔

XT4-20 MA

 

8

实时测量

 

 

  评论这张
 
阅读(3103)| 评论(0)
推荐

历史上的今天

评论

<#--最新日志,群博日志--> <#--推荐日志--> <#--引用记录--> <#--博主推荐--> <#--随机阅读--> <#--首页推荐--> <#--历史上的今天--> <#--被推荐日志--> <#--上一篇,下一篇--> <#-- 热度 --> <#-- 网易新闻广告 --> <#--右边模块结构--> <#--评论模块结构--> <#--引用模块结构--> <#--博主发起的投票-->
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

页脚

网易公司版权所有 ©1997-2018