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微电子工业水质标准  

2011-04-21 13:48:11|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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微电子工业水质标准

 

LED(TFT)

256K DRAM

1M DRAM

4M DRAM

16M DRAM

64M DRAM

线宽度(um)

-

1.4 - 1.8

0.8 - 1.0

0.4 - 0.6

0.2 - 0.3

0.1

电阻率

(Mohm,25℃)

>18.0

>17.5

>18.0

>18.0

>18.1

>18.1

TOC(ppb)

<20

<100

<30

<10

<3

<1

微粒(No./ml)

(0.1μ) <10/ml

(0.2μ) <50/ml

(0.1μ) <10/ml

(0.05μ) <30/ml

(0.03μ) <10/ml

(0.03μ) <5/ml

细菌(CFU/ml)

<1/100

<10/100

<1/100

<5/1000

<5/1000

<5/1000

溶解氧(ppb)

<50

<100

<100

<50

<5

<3

二氧化硅(ppb)

<5

<10

<5

<3

<1

<0.5

硼(ppb)

-

-

<2

0.05

0.05

0.05

钠(ppb)

<0.1

<0.2

<0.1

<0.1

0.05

0.01

钾(ppb)

<0.1

<0.3

<0.1

<0.1

0.05

0.02

<0.05

<0.1

<0.05

<0.05

0.02

0.02

<0.05

 

<0.05

<0.05

0.02

0.02

<0.05

 

<0.05

<0.05

0.005

0.005

氯化物

<0.1

<0.2

<0.1

0.1

0.02

0.02

溴化物

 

<0.1

<0.1

0.05

0.02

0.02

硝酸盐

 

<0.1

<0.1

0.05

0.02

0.02

硫酸盐

 

0.1

<0.2

0.05

0.05

0.05

不溶残渣

 

<0.3

0.1

0.05

0.05

0.05

 

我国电子工业部高纯水水质试行标准

 

化学指标单位:μg/L

序号

水质项目

一级高纯水指标

二级高纯水指标

1

电阻率(25℃)MΩ·cm

≥15

≥10

2

电导率,μs/cm

0.05

0.1

3

PH值

6.8~7.2

6.6~7.4

4

细菌总数,个/mL

<3

<9

5

微粒(直径>0.5μm,粒/mL)

<150

<300

6

二氧化硅

<10

<20

7

有机物(以COD计)

<0.3

<0.5

8

钠 Na

<0.5

<2

9

铁 Fe

<1

<2

10

铜 Cu

<0.5

<1

11

钙 Ca

<1

<3

12

镁 Mg

<0.2

<1

13

锌 Zn

<0.5

<1

14

锰 Mn

<0.2

<0.5

 

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